分子膜的制备方法和制备装置的制作方法技术资料下载

技术编号:3763648

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本发明涉及通过硅氧烷键在基材表面上形成硅烷系化合物的共价键的分子膜的制备方法和制备分子膜装置。已经提出的是将在含有烷基或氟代烷基的分子末端具有氯代甲硅烷基的氯硅烷系化合物在表面有活性氢的玻璃等的表面上涂覆,通过脱除氯化氢的反应产生共价键形成分子膜。现有技术是在含有氯硅烷系化合物的涂覆溶液中浸渍基材的方法(特开平1-70917号公报,EP0492545A)。其他例子是提出了通过气体使氯硅烷系化合物与基材表面接触进行反应的方法。但是,虽然现有的浸渍法可以说是在...
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