技术编号:3764715
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种喷涂装置及其方法,尤其是一种。属材料的镀覆类领域。现有技术中采用沉积的工艺方法有真空热蒸发、RF溅射、化学汽相沉积以及压缩气体喷涂等,由于真空热蒸发、RF溅射所需要的制备较复杂,真空度要求较高,沉积薄膜尺寸相当有限,相对而言喷涂法所需要的设备较简单,成本也较低。但要保证喷涂沉积的薄膜成品和质量较困难。经过文献检索发现日本东亚燃料工业株式会社在中国申请了专利,专利号为88103399,名称为形成超导薄膜的方法及设备。这项专利利用超声振荡雾化...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。