技术编号：3765803
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及薄膜的图形形成方法及器件的制造方法、光电装置及电子设备。背景技术 在制造电子电路或集成电路等具有布线的器件中，例如使用光刻法。该光刻法在预先涂布了导电膜的基板上涂布称为抗蚀剂的感光材料，再照射电路图形进行显像，对应抗蚀剂图形，蚀刻导电膜，由此形成薄膜的布线图形。该光刻法必需真空装置等大型设备与复杂的工序，另外，材料使用效率为数％(百分之几)左右，大部分被浪费，制造成本高。对此，提出使用从液体喷头中液滴状喷出液体材料的液滴喷出法的所谓喷墨法在基板上...
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