技术编号:3765971
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种薄膜材料的制法,尤其是。背景技术 双钙钛矿结构锶(钡、钙)铁钼氧薄膜材料因其优越的磁场-电阻响应性能,在存储器、磁性探头等方面具有广泛的应用前景。人们为了获得该材料的薄膜,作了多种尝试和努力,如使用脉冲激光沉积、磁控溅射、分子束外延等制备方法。但是,这些基于真空法的制备方法均存在着不足之处,首先,制备出的大面积薄膜材料的均匀性不好;其次,制备过程薄膜的化学计量比难以控制;再次,制备薄膜材料所需的设备复杂、价格高。发明内容本发明要解决的技术问题...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。