技术编号：3765992
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种工作台装置，特别是涉及一种适用于台式涂敷机(テ一ブルコ一タ)的工作台(ステ一ジ)装置。背景技术 作为涂敷机的一例，有例如在制造液晶板的过程中将特定材料制成的薄膜涂敷到玻璃基板上的涂敷机。迄今为止，这种涂敷机以采用旋转涂敷方式、即所谓旋转涂敷机为主。但是，旋转涂敷机在其结构上存在滴落在基板上的昂贵的涂敷材料几乎全部废弃的问题。因此，近年来开始提供台式涂敷机取代旋转涂敷机。台式涂敷机为使一定长度的具有涂敷材料的喷射口的喷嘴部或搭载有被处理基板的工...
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