技术编号：3766038
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及使用长条形的喷嘴在被处理基板上涂布液体形成涂布膜的涂布方法和涂布装置。背景技术 目前，在LCD和半导体器件等的制造处理过程中的光刻法工序中，作为为了在被处理基板(玻璃基板、半导体晶片等)上涂布抗蚀液所使用的抗蚀液喷嘴的一个形式，例如专利文献1中公开的具有狭缝状排出口的长条形抗蚀液喷嘴是已知的。在使用这样的长条形喷嘴的抗蚀液涂布装置中，如图13所示，在载置台或保持板(未图示)上水平载置的基板G与长条形抗蚀液喷嘴200的下端面的排出口之间，设定有数百...
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