技术编号：3767322
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明普遍涉及油墨干燥装置，更特定地涉及以防止颗粒的侵入为目的而具备用于提高干燥炉内部压力的送风机的油墨干燥装置。背景技术关于现有的油墨干燥装置，例如特开平10-213334号公报中公开有以可减少设置面积且抑制循环空气的温度变动为目的的基板处理装置(专利文献1)。在专利文献1中公开的基板处理装置中，在其处理区域一并设有对基板进行处理液的涂敷处理的旋转式涂敷单元、对基板进行显影处理的旋转式显影单元、对基板进行加热处理的加热单元、以及对基板进行冷却处理的冷却单...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。