技术编号：3767347
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种将用于压印光刻的铸型进行固定的胶粘片及胶粘带以及微细结构的制造方法。背景技术近年来，可以在基板表面上高效地形成微细图案而提高生产量的压印光刻 (imprint lithography)正受到注目。压印光刻为如下方法在基板表面上形成由固化性树脂组合物构成的被膜，用铸型对该被膜表面进行加压来转印铸型的微细图案，使转印有微细图案的被膜固化，在基板表面上形成微细图案(例如，参照非专利文献1)。由于通过压印光刻形成的微细图案与使用的铸型的微细图案对应，...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。