技术编号:37685917
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及弹性体,具体涉及一种应力作用下耐等离子刻蚀的全氟醚弹性体组合物及其制备方法。背景技术、全氟醚弹性体是由四氟乙烯(tfe)、全氟烷基乙烯基醚(pave;包括pmve,peve和ppve)、硫化点第三单体等的共聚产物。类似于聚四氟乙烯ptfe,含氟弹性体分子链上所有的氢原子均被氟原子所取代以使得其具有良好的耐热性能和耐化学介质性能。、在半导体制程中,由于高低温变、化学腐蚀和等离子体等外部因素的作用而使密封材料逐步发生老化,导致材料的分子结构以及力学性能等发生改变,尤其当有应力作用时。应...
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