技术编号：3769825
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种基于近场静电纺丝技术的微、纳米结构直写喷头，尤其是涉及 一种可实现电纺直写过程起停控制的喷头装置。背景技术微纳米结构的图案化一直是微电子及微纳米机电系统(N/MEMS)等制作领 域中最为关键的环节，因此受到了工业界及学术界的广泛关注。目前采用较为成熟的 技术主要有电子束、离子束、X射线等光刻技术及纳米压印等方法，而这些方法所需 要的工艺复杂、价格昂贵，开发成本高，很难适合大面积或柔性器件等非硅微纳器件 的制作领域。为此，孙道恒等(SunDao...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。