技术编号：3771600
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及石英晶振气体传感器的镀膜设备，特别是一种应用于石英晶振片 的旋转镀膜装置。背景技术随着科技的进步、各种层出不穷的新材料、新技术造福于人类的同时，也给人类的 健康带来了危害。研究表明，许多突发性疾病都是人们的生活工作环境受到有害气体的污 染而造成的。随着个人安全意识和环保意识的提高，人们对自身的生活环境、工作环境的质 量日益重视，因此对生活环境和作业场所各种有毒、有害气体的检测和对污染气体的检测 与监控都提出了更高的要求。与传统的气体检测方法如...
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