技术编号：3772850
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及树脂隔体用膜、光接受装置、制造光接受装置的方法、MEMS设备、和制造MEMS设备的方法。更具体是，本发明涉及在光接受装置和MEMS设备的制造中使用的树脂隔体用膜、使用该膜的光接受装置、制造该光接受装置的方法、MEMS设备、和制造该MEMS 设备的方法。背景技术近些年，配备光接收元件的光接受装置，例如CXD或CMOS，广泛用于光学设备领域，包括移动电话和数字照相机。为了防止可能引起成像失败的外部物质例如灰尘或污染物进入光接受装置内部， 这种光接受装...
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