技术编号:3774031
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在基底上准备图案,更具体地,涉及在基底上准备金 属化的图案。背景技术形成小尺寸部件(features)是改进制造方法一直追求的目标。制 品的导电部件同样如此,并且还可能需要提供了导电线路(trace)的小尺 寸图案化。化学沉积是用于制造微型部件的镀敷方法。化学沉积的化 学品和工艺已经建立了相当长的一段时间,且通常可商购获得。发明内容所公开的为,所述方法包括在基底上以预定图 案施加具有可电离取代基的有机组合物;和在可电离取代基和离子物 种之间进行离...
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