铈系研磨材料、其品质检验方法和制造方法技术资料下载

技术编号:3775992

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本发明涉及铈系研磨材料的品质检验方法、铈系研磨材料的制造方法和铈系研磨材料。背景技术 近年来,玻璃材料被用于各种用途。其中,特别是光盘和磁盘用玻璃基板、活动矩阵(active matrix)型LCD(液晶显示器)、液晶TV用滤色片、时钟、电子计算器、照相机用LCD、太阳能电池等的显示用玻璃基板、大规模集成电路(LSI)光掩膜玻璃基板、或者光学透镜等的玻璃基板和光学用透镜等都要求高精度的表面研磨。通常,这些玻璃基板的表面研磨使用以稀土类氧化物、特别是氧化铈为...
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