热稳定的亚化学计量电介质的制作方法技术资料下载

技术编号:3776850

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本发明涉及亚化学计量的电介质材料。具体而言,本发明涉及形成在透明基底上的用于光学叠层中的亚化学计量电介质材料层。背景技术 在薄膜和光学涂层领域中,亚化学计量的电介质是公知的。这些亚化学计量的材料通常是基于与氧或氮不完全反应的金属,硅或锗的物质。通常,这些材料在可见光波长中是光吸收的,而完全反应的相应化合物在可见光波长中通常是非光吸收的。薄膜形式的亚化学计量材料通常被包括到光学叠层中。与化学计量电介质化合物相比,亚化学计量的电介质材料具有许多有益的性能。例如...
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