技术编号：3778037
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种对基板涂敷溶液的溶液涂敷装置、计量对基板供给的溶液量的计量方法及溶液的供给方法。背景技术 例如，在液晶显示装置的制造工序中，有用于在玻璃制基板上形成电路图形的成膜过程。该成膜工程中，在基板的板面上例如形成取向膜和保护膜等的功能性薄膜。在基板上形成功能性薄膜的情况下，常使用从喷嘴中喷射出形成该功能性薄膜的溶液并将其涂敷在基板的板面上的喷墨方式的涂敷装置。该涂敷装置具有搬送基板的载置台，在该载置台的上方，沿相对于基板的搬送方向几乎正交的方向配置形...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。