技术编号：3778073
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种在基板的被涂布面朝下的状态下涂布涂布液的涂布装置。背景技术 以往，作为将光致抗蚀剂等涂布液涂布于硅晶片等基板上的涂布装置，使用的是旋转涂布机，该旋转涂布机把涂布液滴在基板的中央，然后使基板高速旋转，从而通过离心力作用使涂布液伸展，在基板表面形成涂布膜。但是，上述旋转涂布机有时会在基板的周缘部产生所谓抗蚀剂条纹的鼓起。特别是在液晶显示装置或液晶显示装置制造用光掩模中，需要对大型基板(例如，单边尺寸大于等于300mm的基板)涂布抗蚀剂，条纹的发生...
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