技术编号:3778105
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在封装内部容纳了元件的,特别是涉及在封装内部容纳了检测三维的各自的加速度的加速度传感器的。背景技术 近年来,在自动车或机器人、各种精密机械等产业上的各种各样的领域中广泛地使用了加速度传感器。其中,从小型且轻量、能预期准确且可靠的工作、低成本等的观点来考虑,利用MEMS(微电子机械系统)技术的半导体加速度传感器的需要急剧地增加了。在半导体加速度传感器中,存在通过利用压电电阻效应、即电阻值与所发生的压力成比例地变化的现象来进行加速度的检测的传感器。这...
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