技术编号：3778273
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种以规定的分压比来输出作用气体的分压控制系统、流量控制系统、以及分压控制系统所使用的喷头板。 背景技术 一直以来，例如，在将作用气体提供给晶片的流量控制系统中，为了均匀地对晶片提供作用气体，要控制提供给晶片的中心区域和边缘区域的作用气体的流量。图6是现有的流量控制系统100的概略构成图。图7和图8是现有的喷头板122的平面图。流量控制系统100中，例如，流量控制装置101A，101B，101C，101D分别连接O2，Ar，C4F8，CO等气体供...
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