技术编号：3778298
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及对玻璃基板、半导体晶片等的基板涂敷显影液、清洗剂、SOG溶液及抗蚀剂等的涂敷装置。背景技术 在液晶(LCD)、PDP(等离子显示器)、半导体元件等的制造过程中，为了在基板上形成各种保护膜，或者涂敷清洗剂或显影液，而使用涂敷装置。作为以往的涂敷装置，例如，如专利文献1所示，已知有如下涂敷装置从喷嘴向基板中心滴下涂敷液，然后用使基板旋转所产生的离心力在基板上均匀地涂敷涂敷液的旋转涂敷类型，或者是通过喷雾在基板上均匀地涂敷的类型。在这样的旋转涂敷类型和...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。