技术编号:3778317
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及超硬材料纳米粉体技术,特别是。背景技术 随着科技的发展需要,许多精密器件的表面光洁度都要求很高,比如电脑磁盘、磁头、光通信器件、光学晶体、半导体基片等器件,都需要精密的抛光加工,如果表面有任何超出许可范围的凸凹、划伤或者附着异物,所设计的精度及性能将得不到保证。所以,最终的表面抛光是左右精密器件性能的重要加工过程。纵观各种抛光加工所使用的抛光材料,从形态上可以分为两种,即抛光液和抛光膜,从材质上看种类很多,如金刚石、碳化硅、氧化铝(俗称刚玉)、氧...
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