技术编号：3778443
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及 一 种离子注入制备发光材料的方法，特 法别涉及一种稀土复合离子注入制备发光材料的方背景技术在各种各样固态发光材料的制备中，稀土离子经常被采用作为掺杂离子来实现各种波段的发光光源在制备稀土掺杂发光材料的方法中，离子注入是其中—个重要的掺杂手段，它采用非平衡掺杂的原理可实现远超过材料中稀土固溶度的掺杂密度，尤其是在半导体材料或薄膜材料的需要精密控制掺杂剂纯度的掺杂过程中，离子注入可以很好的满足这方面的需求德国最早报道了釆用离子注入稀土金属Er进入半...
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