成膜装置的制作方法技术资料下载

技术编号:3779271

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本发明涉及成膜装置。背景技术为了对物体施加均一厚度的涂层,涂装方法常规釆用了使用喷枪喷雾的涂装材料形成的喷流型(spray pattera)。层涂装用包含空气调节 器、喷枪等的成膜装置,以例如图7的所示方式进行。换言之,通过从 固定在涂装间(coating booth)151中心的喷枪喷雾涂装材料形成喷流型 153,并且通过使用物体传送器(未显示),以预定速度上下移动放置在 喷枪下方的物体152,同时以箭头S所示方向(即附图中从左至右)将物体 移位预定的距...
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