技术编号：3779297
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及从喷嘴喷射溶液以便在基板上形成规定的涂敷图案的喷墨方 式的。技术背景一般在液晶显示装置或半导体装置的制造工序中的成膜工序中，在玻璃基 板或半导体晶片等的基板面上形成取向膜或保护膜等的功能性薄膜。在基板面上形成功能性薄膜的场合，使用使形成功能性薄膜的溶液从多个 喷嘴喷射(排出)，并圆点状地涂敷在基板上的喷墨方式的涂敷装置(参照专利文献l日本特开平9-105938号公报)。现有的喷墨方式的涂敷装置具有输送基板的输送台，在该输送台的上方， 将形成有排列...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。