技术编号：37818486
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于硅基光电子和异质集成领域的一种光学耦合器，具体涉及一种应用于.维异质集成光波导的绝热楔形耦合器。背景技术、硅材料由于其限制能力强被广泛设计应用于soi(绝缘体上硅，silicon oninsulator)，然而，由于其高折射率对比，基于soi的光学器件对波导不均匀性和侧壁粗糙度非常敏感，同时硅材料热稳定性差。二氧化钛具有coms(互补金属氧化物半导体，complementary metal oxide semiconductor)兼容性、非线性折射率指数、大带隙，所以被广泛应用于...
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