技术编号:3783323
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种双面抛光机用蓝宝石衬底抛光液,其特征在于所述蓝宝石衬底抛光液是专门针对双面抛光机使用。该抛光液是一种含有二氧化硅、氧化剂、碱性组合物、表面活性剂及水的组合物。所述氧化剂可以氧化工件表面的金属杂质,从而防止抛光后的工件表面被金属污染,提高工件表面的抛光质量。所述表面活性剂为阴离子和非离子表面活性剂,该表面活性剂的加入可以使抛光液具有更低的表面张力、高流动性和渗透性,可以降低抛光中的摩擦阻力并取得更佳的润滑作用,且双面抛光机较单面抛光机抛光效率高...
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