技术编号：3783773
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的目的在于提供一种涂布装置，以容易地将涂布液高精度且均匀地涂布于具有翘曲或起伏的基板上。设置在通过棒（109）将被供给至基板（103）上的涂布液（104）拉伸时按压基板（103）的机构（116），控制拉伸区域的基板（103）的形状，由此能够容易地在具有翘曲或凹凸的大型基板（103）上高精度且均匀地涂布涂布液（104）。专利说明涂布装置[0001 ] 本发明涉及一种涂布装置。背景技术[0002]作为一种将涂布液高精度且均匀地涂布于半导体晶片或显示器件等...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。