技术编号:3785244
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种化学机械研磨组合物,其特征在于,包括下列重量份数的物质亲水基表面活性剂1-8份,多聚甲醛4-6份,酸酐5-7份,硫脲6-13份,乙醛1-8份,乙二醛5-8份,氯化亚铁3-7份,氧化镁1-8份,盐酸3-8份,氧化铜1-3份,氧化锌1-2份,甲基丙烯酸甲酯15-20份,甲基三乙氧基硅烷14-19份,抗氧剂2-4份,防老剂1份,氯化钙2-5份。本发明的化学机械研磨剂中包括亲水基表面洁性剂材料,可以降低化学机械研磨剂和正在水性薄膜间的表面张力,使化...
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