技术编号：37859862
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微机电系统封装及其制造方法。背景技术、微机电系统(micro-electro-mechanical system，mems)元件，例如加速度计、陀螺仪、压力传感器和麦克风，已广泛用于许多现代电子元件中。例如，由加速度计和/或mems陀螺仪组成的惯性测量单元(inertial measurement unit，imu)常见于平板计算机、汽车或智能手机中。在一些应用中，各种mems元件需要整合到一个mems封装中。然而，对于需要不同压力的mems元件，这些mems元件需要在不同的环境压力...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。