技术编号：37885573
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及原子器件的，特别涉及一种微型原子气室及其制备方法和应用。背景技术、原子气室是众多量子计量、测量，传感器件传感应用如cpt原子钟、原子磁力计、里德堡原子电场计、多普勒展宽测温等的核心器件，其气室压力的精确性受到填充碱金属叠氮化物分解的直接影响，工作时同时受到作用光及外界杂散光的照射，外界杂散光会影响其工作准确性及稳定性。如传统基于硅基mems原子气室的制备方法中，采用透明玻璃与硅键合的方式，外界杂散光同样作用于原子气室；另外，加热或空间光的方式激活碱金属叠氮化物，不能精准控制碱金属叠氮...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。