技术编号:3791039
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开一种涂布系统,该涂布系统包括用于承载基板的装载台,以及用于对所述基板进行涂覆的长条状的喷嘴;其特征在于,所述涂布系统还包括报警装置和位置检测装置,该位置检测装置用于检测所述喷嘴的下端面的至少一部分的位置,所述报警装置与所述位置检测装置电连接,且所述报警装置设置为当所述位置检测装置检测到所述喷嘴的下端面的至少一部分的位置发生变化时发出报警信号。本实用新型所提供的涂布系统可以避免因喷嘴的下端面与基板的上表面之间的距离不均匀而造成的喷涂不良。专利说...
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