一种液相法生籽晶粘接烧结的冲压装置及其方法与流程技术资料下载

技术编号:37925556

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本发明涉及冲压装置,具体涉及一种液相法生籽晶粘接烧结的冲压装置及其方法。背景技术、目前液相法制备单晶采用的粘接烧结技术,将籽晶片通过粘接胶水与石墨头粘接起来进行加压烧结,在这期间,由于粘接剂达到其闪点温度后进行挥发,或是受热加压不均匀导致的空洞,又或是粘接烧结的过程中空气的进入,产生不均匀的气泡,从而导致较差粘接烧结效果,从而影响单晶的生长质量,容易形成空洞,微管的缺陷;而且生长结束后,退火期间热应力无法释放,导致单晶片的破裂或者碳化硅单晶难以从石墨头上取出;而且在石墨头与籽晶片烧结固定后,不...
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