技术编号：37931845
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及光子检测器。具体地，本公开涉及高灵敏度光子检测器，诸如半导体光电倍增器。具体地但非排他地，本公开涉及在诸如正电子发射断层扫描[pet](包括飞行时间pet[tof-pet]、激光测距[lidar]应用、生物发光、高能物理[hep]检测器)的领域中的半导体光电倍增器(sipm或spm)。背景技术、sipm是半导体光子敏感装置，由在诸如硅的半导体衬底上的非常小的盖革模式雪崩光电二极管(apd)单元阵列组成。在附图的图中示出示例性χ微单元阵列。每个单元相互连接以形成具有一个信号输...
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