技术编号：37935598
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及一种用于平板显示器的空白掩膜和光掩膜，并且更具体而言，涉及一种能够防止由于静电和过电流所致的图案损伤的用于平板显示器的空白掩膜和光掩膜。背景技术、在用于制造半导体装置或诸如薄膜晶体管液晶显示器(tft-lcd)和有机发光二极管(oled)之类的平板显示器(fdp)的光刻工艺中，使用由空白掩膜制备的光掩膜来转印图案。、空白掩膜具有这样的结构，在该结构中，金属薄膜以单层或若干层的形式形成于诸如合成石英玻璃之类的透明衬底上，并且抗蚀膜形成于金属薄膜上。这里，根据光学特性，所述层可为遮光层...
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