技术编号：37942908
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种电弧蒸发源。背景技术、以往，作为以提高耐磨耗性等为目的而在工具及机械零件等的基材的表面形成覆膜的方法，提出了使用电弧放电的各种成膜方法。在日本专利公开公报特开平-号中公开了使用此种电弧放电的薄膜蒸镀装置。在该装置中，在靶材的前方或后方分别配置由永久磁铁或电磁铁形成的电弧调节器。真空腔室构成电弧放电的阳极，支撑靶材的支撑架构成电弧放电的阴极，在两个电极之间施加电弧放电电压。并且，通过由各电弧调节器分别形成从靶材朝向工件(被蒸镀物、成膜对象)的磁力线，受电弧放电而从靶...
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