技术编号:37943197
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于多晶硅生产,具体涉及一种应用于颗粒硅生产尾气的硅烷气回收系统及方法。背景技术、多晶硅是电子信息产业和太阳能光伏发电产业最重要的基础材料,多晶硅的生产工艺较多,但已经大规模实现产业化的主要工艺有改良西门子法和硅烷热分解法,硅烷热分解法相对于改良西门子法生产多晶硅具有流程简单、分解温度低、能耗低的优势,因此硅烷法越来越成为生产多晶硅的主要方法。、而硅烷热分解法在生产过程中会产生尾气,这些尾气中具有可回收利用的硅烷,如果尾气直接排放将造成硅烷的浪费,同时还会污染环境。技术实现思路、本发...
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