技术编号:3794678
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。烘焙处理系统(100)包括真空烘焙装置(VB)1),其用于以大气压以下的压力对利用外部的喷墨打印装置(IJ)200)形成于基板(S)上的有机材料膜进行焙烧;输送装置(11),其用于将基板(S)向真空烘焙装置(VB)1)输送;输送室(TR)10),其能抽成真空,用于容纳输送装置(11);加载互锁装置(LL)20),其构成为能够在大气压状态和真空状态之间切换;以及输送装置(31),其配置于基板输送路径中的位于喷墨打印装置(IJ)200)和加载互锁装置(LL)2...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。