技术编号:3797406
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体材料与器件领域,特别涉及。(1)合成黄原酸锌单源前驱体;(2)制备单源黄原酸锌前驱体溶液;(3)制备硫化锌薄膜。本发明工艺简单易操作,原料廉价易得,所制备的硫化锌薄膜结晶质量高,成分易控制,外观上连续,均匀,致密,表面平整光亮,且与衬底的结合牢固可靠,也可在形状复杂的衬底上制备薄膜;通过上述工艺可以避免通常的多步复杂工艺、工艺周期长或高真空昂贵设备等,成本低,适合工业化大规模生产,所制备的硫化锌薄膜可应用于太阳能电池、平板显示器和发光二极管...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。