技术编号：3798001
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种，属于生物高分子材料和超精密加工相结合的领域。其特征是抛光膜基材为可降解的生物高分子材料，选用填充剂、持水剂和造孔剂等干燥控制化学添加剂增强抛光膜的机械性能，通过偶联剂表面化学改性的方法实现超细磨料在抛光膜中的均匀分散和有效把持。与传统的化学机械抛光方式相比，不存在游离磨料浪费严重和腐蚀性抛光液对环境的污染问题。相较于商业的抛光膜产品，生物高分子基材具有一定的柔性，能实现对磨粒的容没，不会产生划痕和机械损伤，可达到超精密无损加工。可降解的超细...
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