技术编号：3798611
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了，该方法是在焦平面器件上光刻铟孔并蒸发铟膜，利用具有弱腐蚀性的化学抛光液，通过化学机械抛光工艺制备铟柱。该种方法制备的铟柱具有高度一致性好、平整度高和致密等优点，能满足大面阵焦平面器件倒装互连的要求。本发明方法操作简单，便于在工艺上实现。专利说明[0001]本发明专利涉及倒装焊工艺技术，具体涉及一种基于化学机械抛光的铟柱制备方法。背景技术[0002]在焦平面器件中需要将探测器芯片的各光敏元与读出电路的输入级一一对应形成电学连接，其电学连接数量从...
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