技术编号:3799100
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种高效环保型相变存储器用机械抛光液,其特征在于,包括下列重量份数的物质表面活性剂5-9份,有机添加剂7-9份,除油剂3-8份,除油粉7-12份,表调剂11-15份,硫酸钾7-16份,无水硫酸钠10-16份,氨水7-13份,氢氧化铝7-13份,空心玻璃微珠9-13份,山梨醇11-18份,聚丙烯7-10份,硬脂酰胺10-15份。本发明的抛光液性能稳定,抛光效果好,可满足制备纳电子相变存储器中工艺的需要。专利说明一种高效环保型相变存储器用机械抛光液...
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