技术编号：3799102
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种高效研磨组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质磷酸二氢钙1-7份，磷酸氢钙1-3份，过氧化苯甲酰11-18份，乙酸正丁酯14-21份，水杨酸钠2-9份，高岭土9-10份，季戊四醇1-5份，氰尿酸三聚氰胺盐2-3份，水性介质50-55份，纳米石墨粉1-2份，蒙脱土1-3份，氯化钙2-5份。本发明的化学机械研磨剂中包括亲水基表面洁性剂材料，可以降低化学机械研磨剂和正在水性薄膜间的表面张力，使化学机械研磨剂和琉水性薄膜更紧密贴合。专利说明一种...
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