技术编号：3799294
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种存储器用抛光液，其特征在于，包括下列重量份数的物质氧化镁1-3份，盐酸2-4份，氧化铜1-3份，氧化锌3-5份，锌粉1-2份，氧化铅1-2份，酒石酸1-3份，羟乙基纤维素2-6份，苯甲酸甲酯1-3份，聚乙烯醇5-9份，氯苯1-3份，马来酸酐8-15份，硼酸锌4-13份，聚乙烯酯8-14份，二甲基二巯基乙酸异辛酯锡23-28份，过氧化苯甲酰1-2份，乙酸正丁酯2-3份，硬脂酰胺1-3份。本发明的抛光液性能稳定，抛光效果好，可满足制备纳电子相变...
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