技术编号：3799299
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种存储器抗腐蚀抛光液，其特征在于，包括下列重量份数的物质烷基芳基磺酸钠7-16份，磷酸三钠9-11份，氯化铝5-8份，氯化钾9-13份，双酚A型聚碳酸酯14-23份，苯甲酸甲酯8-14份，聚乙烯醇11-14份，酒石酸5-7份，氯化钠6-13份，锌粉7-14份，氧化铅1-2份，羟乙基纤维素2-6份，氯化钙3-7份，助溶剂1-3份，润湿剂2-5份，十二烷基苯磺酸钠1-2份。本发明的抛光液性能稳定，抛光效果好，可满足制备纳电子相变存储器中工艺的需要...
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