技术编号:3799312
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种晶片抛光剂,其特征在于,包括下列重量份数的物质硬脂酸钙5-7份,磷酸氢二铵9-10份,磷酸二氢钙3-8份,云母粉14-23份,空心玻璃微珠15-24份,氯苯5-8份,硫酸镁2-4份,酒石酸1-3份,羟乙基纤维素14-26份,苯甲酸甲酯9-14份,聚乙烯醇16-25份,二氧化氯11-16份,三乙胺8-12份,PH调节剂9-17份。本发明的有益效果是配方简单、制作容易,其可在半导体加工的化学成膜和机械去膜的交替过程中实现超精密表面加工,从而达到...
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