技术编号：3801545
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种在利用半导体装置或液晶面板或有机EL(电致发光)面板的显示装置等这样的电子元件的制造时所使用的。背景技术 在利用半导体装置和液晶面板或有机EL面板的显示装置等这样的电子元件的制造时，藉由将水溶液或含有无机或有机溶剂的涂敷液在基片上进行涂敷，而进行基片上的机能层和光栅层等的膜形成。作为该涂敷方法，有旋转涂敷法和墨水涂敷法、分割涂敷法等。在这些涂敷方法中，喷墨法被用于进行显示装置的发光层和滤色器层等这样的微细图案制作的成膜。当在这种电子元件的制造...
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