涂布液供给装置的制作方法技术资料下载

技术编号:3804031

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本发明涉及一种在涂布装置中使用的涂布液供给装置。技术背景以往,作为涂布液供给装置,公知有如下结构在设于涂布液收容部件的 开口缘的歧管的内表面上形成密封部件,通过密封部件来密封涂布液压出部 件,并通过涂布液引入部将涂布液引入到在歧管的内表面与涂布液压出部件之 间形成的环状空间内(例如参照专利文献l)。专利文献h日本专利特开2005-246201号公报然而,在上述以往的涂布液供给装置中,密封部件与涂布液压出部件的外 周面滑动接触,有时附着在涂布液压出部件外周面...
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