技术编号：3805385
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及容器的生产，在所述过程中，为其内壁覆盖含有隔离性材料的一涂层。背景技术已知通过活化等离子气相沉积法(PECVD Plasma EnhancedChemical Vapor Deposition等离子增强化学气相沉积)施加隔离性材料层。通常使用配备多个处理单元的一处理机，其各包括一电磁波发生器、连接在发生器上且以一导电材料(通常是金属)实现的一空腔，以及设置在一空腔内，以能穿透来自发生器电磁波的一材料(通常是石英)实现的一容腔。在把容器(通常以例如...
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