技术编号：3805919
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于清洗处理液供给喷嘴的喷嘴清洗装置，该处理液供给喷 嘴从在长尺状的狭缝喷嘴的下端部形成的狭缝状的吐出口吐出处理液。背景技术在对半导体晶片、液晶显示面板用玻璃基板或者半导体制造装置用掩模 基板等基板，涂敷光致抗蚀剂等处理液的涂敷装置中，通过从在长尺状的狭 缝喷嘴的下端部形成的狭缝状的吐出口吐出处理液，对基板表面涂敷处理液。 该涂敷装置为由喷嘴清洗装置清洗因涂敷处理液而污染的喷嘴的结构。例如，作为这种喷嘴清洗装置，如在日本国专利申请公开JP2005...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。