技术编号：3807132
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。io 本文件涉及油墨组合物和使用所述油墨组合物形成图案的方法。 背景技术通常，应用于信息存储、小型传感器、光学晶体和光学元件、微电 子机械装置、显示装置、显示器和半导体等中的形成精细图案的方法都 15是通过使用光来形成精细图案的光刻法。在相关技术的光刻法中，电路线宽或图案线宽取决于曝光过程中所 使用的光的波长。鉴于目前的技术水平，由于光的干涉，通过使用光刻 法很难在基板上形成小于或等于70 nm的精细图案。此外，随着图案的超精细化，会需要诸如曝光装置等昂贵...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。